[发明专利]一种POLO-IBC太阳能电池及其制备方法有效
申请号: | 202110276672.5 | 申请日: | 2021-03-15 |
公开(公告)号: | CN113224202B | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 李懋鸿;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/0288;H01L31/0352 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 李素兰;何键云 |
地址: | 322009 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明公开了一种POLO‑IBC太阳能电池及其制备方法,所述方法包括:S1、对硅片进行制绒;S2、在硅片的背面形成隧穿氧化层;S3、在隧穿氧化层上形成n型非晶硅层;S4、在硅片的正面形成n+轻掺杂层,并将硅片背面的n型非晶硅晶层转化为n型多晶硅层;S5、形成P型区和N型区;S6、热氧退火;S7、在n+轻掺杂层和SiO |
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搜索关键词: | 一种 polo ibc 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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