[发明专利]一种可精准控温的薄型VCSEL激光器封装结构在审
| 申请号： | 202110277948.1 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN112952548A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 谢晋毅;陈钢;高涛;曾广锋 | 申请（专利权）人： | 东莞先导先进科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/022 | 分类号： | H01S5/022;H01S5/02315;H01S5/0239;H01S5/024;H01S5/183;H01S5/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李琼芳;肖小龙 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种可精准控温的超薄型VCSEL激光器封装结构，包括冷端陶瓷基板、形成于冷端陶瓷基板上表面的容纳腔侧壁和用于对容纳腔侧壁封盖的匀光片；所形成的容纳腔内设有封装元件VCSEL芯片、测温元件和光电反馈元件；冷端陶瓷基板下方相对设有热端陶瓷基板；冷端陶瓷基板与热端陶瓷基板之间设有用于定向热传导的热电材料组件，和与VCSEL芯片、测温元件和光电反馈元件分别进行电连接的导电材料组件。本发明的VCSEL激光器封装结构可省略热沉，封装可靠性高，体积小，可实现超薄化，能实现底部贴装，且可实时、精确、快速地进行控温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精准 vcsel 激光器 封装 结构 | ||
【主权项】：
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