[发明专利]针对SRAM图形OPC一致性检测的方法在审
| 申请号： | 202110278678.6 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113051866A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 苏耀;陈翰;顾婷婷;魏芳 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/398 | 分类号： | G06F30/398 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种针对SRAM图形OPC一致性检测的方法，包括：提供SRAM图形，图形具有拐角；获取OPC基准单元；对SRAM图形进行匹配，挑选出SRAM图形上OPC差异片段数量大于或等于3的边，从该边上选出靠近拐角处的OPC差异片段作为拐角OPC差异片段；若拐角OPC差异片段的OPC基准单元与SRAM图形的绝对差值大于第一设定值，则对相邻OPC差异片段的OPC基准单元添加与第一设定值相反并且是二分之一第一设定值的公差，否则，对该OPC差异片段的OPC基准单元添加与OPC基准单元与SRAM图形的绝对差值相同的公差，对相邻OPC差异片段的OPC基准单元添加与OPC基准单元与SRAM图形的绝对差值相反的值的公差；以调整后的OPC基准单元对SRAM图形进行OPC处理。最终提高SRAM图形中重复单元的OPC结果的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 sram 图形 opc 一致性 检测 方法 | ||
【主权项】：
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