[发明专利]一种铜靶材及其制备方法和用途有效
| 申请号： | 202110281579.3 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN113046705B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;慕二龙;曹欢欢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C22F1/08;C22C9/01;C22C9/05 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种铜靶材及其制备方法和用途，所述铜靶材中晶粒尺寸≤10μm，所述铜靶材中晶粒取向为{110}的晶粒占比为50～70％，应用于集成电路的溅射成膜中，能够保证铜靶材在溅射过程中性能稳定，在集成电路上形成均匀的薄膜，满足7nm工艺节点以下溅射性能要求，所述铜靶材的制备方法包括对铜铸锭依次进行热锻、第一热处理、冷锻、第二热处理、第一静压、第二静压和轧制，所述制备方法简单，工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜靶材 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110281579.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
