[发明专利]一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法在审
| 申请号： | 202110282766.3 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN112877665A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;邵科科 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B23P9/02 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法，所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板；所述靶材的端面具有第一分段式花纹结构；所述靶材的端面与侧面的连接处R角具有第二分段式花纹结构；所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构分别独立地为至少2段式花纹结构。所述滚花方法包括以下步骤：(1)对靶材的端面进行第一分段式滚花；(2)对靶材的端面与侧面的连接处R角进行第二分段式滚花；(3)对靶材的滚花区域进行抛光处理。其中，步骤(1)与(2)不分先后顺序。本发明有效地防止了靶材在溅射过程中反溅射物的脱落，保护了晶圆免受损伤，提升了镀膜质量，延长了靶材组件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 段式 花纹 结构 组件 及其 方法 | ||
【主权项】：
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