[发明专利]用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置有效
| 申请号： | 202110284872.5 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113020165B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 刘永龙;杜学敏;常永强;张治国 | 申请（专利权）人： | 呼和浩特市洪润环祥科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/087 | 分类号： | B08B9/087;B08B15/04 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 覃曼萍 |
| 地址： | 010070 内蒙古自治区呼和浩*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，其用于清理石墨加热器，包括底座、环形旋转件、内壁清理机构、外壁清理机构和吸尘机构，环形旋转件设置于所述底座上，其上设置有用于固定石墨加热器的固定部，其接受驱动以自转；内壁清理机构包括多个竖向布置的第一条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的内侧；外壁清理机构包括多个竖向布置的第二条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的外侧；吸尘机构的抽吸口位于所述内壁清理机构和外壁清理机构之间。本发明提供的用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，通过内壁清理机构和外壁清理机构实现对石墨加热器自动清理，不需要操作人员手工清理，提升清理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅单晶炉热场拆清 高效 清理 装置 | ||
【主权项】：
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