[发明专利]坐标测量机、探测系统以及补偿探针元件处的力的方法有效
| 申请号： | 202110285076.3 | 申请日： | 2015-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112815901B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | C·艾斯利;伯恩哈德·施普伦格 | 申请（专利权）人： | 赫克斯冈技术中心 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 瑞士赫*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及坐标测量机、探测系统以及补偿探针元件处的力的方法。探测单元(16)包括致动器(21)，致动器(21)以如下方式布置和设计：能以可变的规定方式关于至少一个致动方向向探针元件施加反力，该反力取决于所施加的致动信号。接收关于探测单元(16)的预期运动的运动信息，该运动信息提供关于由于探测单元(16)的运动而出现的所引发的力所述探针元件相对于探测单元的预期位移行为的信息。基于运动信息针对至少一个具体运动点推导出探针元件的至少一个具体预期位移行为，并且基于该至少一个具体预期位移行为针对至少一个具体运动点确定致动信号，致动信号提供了针对具体运动点处的预期位移行为而由致动器(21)向探针元件施加规定反力。 | ||
| 搜索关键词： | 坐标 测量 探测 系统 以及 补偿 探针 元件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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