[发明专利]一种图像传感器及照相机在审

专利信息
申请号: 202110286763.7 申请日: 2021-03-17
公开(公告)号: CN113053937A 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 方欣欣;黄晓橹 申请(专利权)人: 联合微电子中心有限责任公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京北汇律师事务所 11711 代理人: 马亚坤
地址: 401332 重庆*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明公开了一种图像传感器及照相机,其中,图像传感器包括多个光电二极管单元;该光电二极管单元包括:光电二极管和预设层;其中预设层的禁带宽度小于预定阈值;预设层设置于该光电二极管上方;该光电二极管单元两侧设置有背面深沟道隔离层;背面深沟道隔离层上方设置有金属层;通过背面深沟道隔离层连接的多个光电二极管单元的上方设置有介质层;该介质层上方设置有微透镜。通过本发明解决了现有技术中难以进一步提升NIR波段的吸收效率的问题。在本发明中锗硅工艺与现有的硅基工艺兼容,使得锗硅层在制备上不存在难点,并且锗硅层中锗的配比可以调节,进而调节锗硅层的禁带宽度,使得NIR的吸收效率更高,进而显著增强NIR波段的量子效率。
搜索关键词: 一种 图像传感器 照相机
【主权项】:
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