[发明专利]一种晶圆片厚度的检测机构及其检测方法

摘要

本发明公开了一种晶圆片厚度的检测机构及其检测方法，包括由底板和侧板组成的L形底座、x轴调节机构、y轴调节机构、晶圆放置平台、上测头微调机构、下测头微调机构；x轴调节机构设于底板上，y轴调节机构上方通过平台连接块与晶圆放置平台相连；上测头微调机构和下测头微调机构分别通过上连接块和下连接块固定于测头固定板上；测头固定板固定于侧板上；晶圆放置平台置于上测头微调机构与下测头微调机构之间；上测头微调机构和下测头微调机构均可进行xyzθ四轴微调。本发明使用了xyzθ四轴微调平台，搭配可调Z轴，晶圆放置平台用精密手摇轮给丝杆移动位置，整体结构紧凑，确保了测量调整的方便性、测量精度和随时携带的方便性。