[发明专利]一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202110287178.9 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113061852B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李小萍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将铝或铝合金靶材坯料依次进行锻伸、一次热处理、锻造、二次热处理、轧制以及三次热处理，得到高纯铝或铝合金靶材；所述轧制的道次为3～5次；所述轧制的压降量随道次递减；所述制备方法通过优化轧制工艺，显著细化了晶粒尺寸，提高了晶粒的均匀性，工艺流程简单，成本低，有利于规模化生产，具有较好的工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 铝合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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