[发明专利]卷对卷等离子处理系统在审
| 申请号： | 202110287662.1 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN112908825A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 谭健 | 申请（专利权）人： | 深圳市神州天柱科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05K3/00;H05K3/26 |
| 代理公司： | 深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331 | 代理人： | 寇闯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于于机械加工领域，提供了一种卷对卷等离子处理系统。包括机体、放料和收料腔、等等离子清洗腔、铜管嵌入式极板，其中，放料和收料腔和等等离子清洗腔位于机体内部，铜管嵌入式极板位于等等离子清洗腔内。本发明通过将放料仓和收料仓整合到一个腔体，减少了真空腔体积。通过使用铜管嵌入式极板，避免了焊接带来易漏水的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 处理 系统 | ||
【主权项】：
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