[发明专利]一种单晶二硒化铂薄膜的制备方法有效
申请号: | 202110287808.2 | 申请日: | 2021-03-17 |
公开(公告)号: | CN113046827B | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 王泽高;曹邦麟 | 申请(专利权)人: | 四川大学 |
主分类号: | C30B25/02 | 分类号: | C30B25/02;C30B25/18;C30B29/46 |
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地址: | 610065 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种单晶二硒化铂薄膜的制备方法,属于功能薄膜材料领域。本发明将经过预处理的蓝宝石基片置于石英舟内,并倒扣于铂原料上方形成空间限域结构。采用硒粉作为原料,在高温处理下,硒粉与铂原料蒸发,在载气的作用下迁移到蓝宝石基底表面反应并生长,最终在蓝宝石基底表面获得单晶二硒化铂薄膜。本发明具有方法简单、成本低廉、无污染的特点,并且有效解决了近年来二硒化铂因为其金属前驱体蒸气压低、且不稳定的难题。本发明可应用于基于二硒化铂的电子器件、光电探测、催化、力学和磁学等领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶二硒化铂 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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