[发明专利]一种清洗半导体晶片的石英缸

摘要

本申请涉及一种清洗半导体晶片的石英缸，包括底座，设置在底座上的石英缸体，所述石英缸体上部开口，开口处设置有盖板，石英缸体的底部设有倾斜板，处于倾斜板底端的石英缸体侧壁上设有排液口，所述石英缸体的内部可拆卸的连接有晶片夹持组件，所述石英缸体内还设有清洗毛刷，所述的底座上设有驱动晶片夹持组件动作的驱动组件。本申请的有益效果为：可以在清洗前将多个晶片固定在晶片夹持组件上，之后再将晶片夹持组件安装在石英缸内，通过清洗液进行清洗，可以同时清洗多个晶片，提高了清洗效率以及操作的安全性。