[发明专利]红外发光二极管外延片及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110288849.3 申请日: 2021-03-18
公开(公告)号: CN113224213B 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 邢振远;李彤;王世俊;曹敏;孙建建 申请(专利权)人: 华灿光电(苏州)有限公司
主分类号: H01L33/12 分类号: H01L33/12;H01L33/06;H01L33/30;H01L33/00
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 吕耀萍
地址: 215600 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本公开提供了红外发光二极管外延片及其制备方法,属于发光二极管制作领域。在n型AlGaAs限制层与多量子阱层之间增加第一应力调整层,应力调整层包括第一AlGaAsP层或包括第一AlGaAsP/GaInP超晶格,第一应力调整层生长时会积累张应力,张应力会被多量子阱层的压应力抵消,最终得到的多量子阱层中的压应力较少,提高多量子阱层的晶体质量以提高发光效率。在第一应力调整层包括第一AlGaAsP/GaInP超晶格时,第一AlGaAsP/GaInP超晶格本身生长过程中也会释放一定的应力,多量子阱层以下的底层结构的质量较好,可以进一步提高多量子阱层的晶体质量。
搜索关键词: 红外 发光二极管 外延 及其 制备 方法
【主权项】:
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