[发明专利]硅片的处理系统及处理方法、太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明公开一种硅片的处理系统及处理方法、太阳能电池及其制作方法，涉及光伏技术领域，在确保工艺质量的基础上，提高工作效率。该硅片的处理系统包括刻蚀装置、清洗液供应装置以及硅片承载机构。该刻蚀装置用于利用刻蚀液对硅片的第一面进行单面刻蚀处理；清洗液供应装置用于在利用刻蚀液对硅片的第一面进行单面刻蚀处理时，向硅片的第二面提供清洗液，该清洗液用于清洗硅片的第二面；硅片承载机构用于承载硅片，刻蚀装置和清洗液供应装置分别位于硅片承载机构的两侧。本发明提供的硅片的处理系统及处理方法、太阳能电池及其制作方法用于对制作太阳能电池的硅片进行处理。