[发明专利]一种光罩盒传送系统及生产流水线有效
| 申请号： | 202110291003.5 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN112938475B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 林锦鸿;孙亚东;王兆会 | 申请（专利权）人： | 泉意光罩光电科技（济南）有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G35/00;B65G47/248;B65G43/08;B65B69/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 韩静粉 |
| 地址： | 250000 山东省济南市高新区经十路7*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光罩盒传送系统及生产流水线，光罩盒传送系统包括分别设置在相邻工位机台之间的机械手；机械手上分别设置有夹爪、开盖机构和翻转机构；开盖机构能够打开光罩盒，翻转机构可翻转安装在机械手上，且翻转机构与夹爪连接，夹爪能够夹取光罩盒或者光罩盒内的光罩；机械手带动夹爪抓取上一工位机台载出端口的光罩盒到下一工位机台载入端口处。本发明通过光罩盒传送系统的设置代替了人工搬运光罩盒到各个机台，减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，实现了自动化传送光罩。此外，通过开盖机构打开光罩盒，并通过翻转机构带动光罩翻转翻面，进一步减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，进一步提高了光罩自动化传送。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光罩盒 传送 系统 生产 流水线 | ||
【主权项】：
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