[发明专利]一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统有效
申请号: | 202110294776.9 | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN113176273B | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 王绍凯;黄运;张世振;韩笑 | 申请(专利权)人: | 哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人: | 段守富 |
地址: | 528400 广东省中山市翠亨新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统,涉及面板缺陷检测技术领域,该自动对焦装置包括音圈电机、第一测距传感器、位置编码器和控制器,第一测距传感器监测光学检测单元到待检测面板表面的距离并将检测数据发送给控制器,从而便于控制器将该距离与光学检测单元最佳成像距离进行对比,得出光学检测单元需要行走的距离;同时,控制器控制音圈电机驱动光学检测单元运动至最佳成像位置,光学检测单元运行过程中,通过位置编码器实时反馈光学检测单元的当前位置信息,从而与第一测距传感器和控制器构成闭环控制,确保光学检测单元能精准、高速运动到最佳成像位置,以确保光学检测单元的成像效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 对焦 装置 方法 以及 面板 缺陷 检测 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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