[发明专利]一种磷污染物的去除方法及装置在审
| 申请号： | 202110295692.7 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113066711A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 沈保家;吴保润;刘小辉;张超 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 姚璐华 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种磷污染物的去除方法及装置，所述方法包括：向反应腔室中通入预设气体，与所述反应腔室中氧化机台上的磷污染物进行反应，使固态的所述磷污染物变为气态；对所述反应腔室内的气体进行气体抽离。也就是说，该去除方法通过向反应腔室中通入可以与磷污染物反应的气体，二者发生反应，将固态的磷污染物变为气态，再对反应腔室内的气体进行抽离，实现清除磷污染物的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 污染物 去除 方法 装置 | ||
【主权项】：
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