[发明专利]一种阵列基板及其制备方法

摘要

本申请提供一种阵列基板及其制备方法。所述阵列基板包括衬底基板；设置于所述衬底基板上的开关晶体管和感光晶体管；所述开关晶体管包括第一有源层，所述感光晶体管包括第二有源层，所述第一有源层和所述第二有源层同层且间隔设置；其中，所述第一有源层的厚度小于所述第二有源层的厚度。本申请通过将所述第一有源层和所述第二有源层图案化处理，使所述第一有源层的厚度小于所述第二有源层的厚度，从而满足所述阵列基板在所述感光晶体管处高光漏电、及所述开关晶体管处低光漏电的需求。