[发明专利]一种制备背钝化太阳能电池的设备及其工艺

摘要

本发明公开了一种制备背钝化太阳能电池的设备及其工艺，该种制备背钝化太阳能电池的设备及其工艺包括进料腔、第一工艺腔、隔离腔、第二工艺腔和出料腔，所述进料腔、第一工艺腔、隔离腔、第二工艺腔和出料腔的腔体之间设有阀门，第一工艺腔和第二工艺腔内都铺有加热板，在依次连接的每一个腔体内装置有传输滚轮，载有硅片的托盘在滚轮上传输，载有硅片的托盘依次经过进料腔、第一工艺腔、隔离腔、第二工艺腔和出料腔。通过上述方式，本发明同时制备Topcon太阳能电池的隧穿二氧化硅膜层及掺杂非晶/微晶硅膜层，可制备更高效率的Topcon太阳能电池，避免离子损伤，动态传输，提高膜层的均匀性，提高了产能。