[发明专利]陶瓷加热器及其制法在审
| 申请号： | 202110298492.7 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113543380A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 松下谅平 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B3/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;郭玫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种陶瓷加热器及其制法。陶瓷加热器(10)具备：在上表面具有晶片载置面(20a)的圆盘状的陶瓷基体(20)；埋设于陶瓷基体(20)中的电阻发热体(22、24)；从所述陶瓷基体(20)的下表面支撑陶瓷基体(20)的筒状轴(40)；设置于电阻发热体(22、24)与晶片载置面(20a)之间，且从陶瓷基体(20)的内部的中心侧的起点位置(S)到达外周侧的末端位置(E)的热电偶通路(27)；以及在陶瓷基体(20)的下表面(20b)中被筒状轴(40)包围的轴内区域(20d)开口，并与热电偶通路(27)连通的热电偶插入孔(26)。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 加热器 及其 制法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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