[发明专利]声表面波应变传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110299261.8 | 申请日： | 2021-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN112857276B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 谭秋林;杨子锋;闫夏雯;张磊;熊继军 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B17/04 | 分类号： | G01B17/04 |
| 代理公司： | 北京致科知识产权代理有限公司 11672 | 代理人： | 董玲;魏红雅 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开一种声表面波应变传感器及其制备方法，其中声表面波应变传感器包括基底，基底包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面上的有源区内形成有叉指换能器以及分别位于所述叉指换能器两侧的第一反射栅和第二反射栅，第二表面对应所述有源区的位置形成有至少一个凹槽。本发明的传感器结构能提高声表面波应变的检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 应变 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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