[发明专利]一种BaZrS3在审

专利信息
申请号: 202110299441.6 申请日: 2021-03-18
公开(公告)号: CN113193073A 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 杨森;周超;于忠海;张垠 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032;H01L21/363;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/58;C01G25/00
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 覃婧婵
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种BaZrS3太阳能电池薄膜材料的制备方法,涉及太阳能薄膜电池技术领域,所述方法包括以下步骤:S100、称取BaZrO3粉末并硫化处理得到靶材A;S200、将蓝宝石放入磁控溅射系统中镀钨得到衬底B;S300、对靶材A和衬底B进行镀膜得到样品C;S400、将样品C进行热处理得到最终产物BaZrS3太阳能电池薄膜材料。本发明探索的制备条件工艺,解决了烧结制备的过程中高温导致的膜表面粗糙度问题和CS2高温分解C沉积导致的电学性能改变问题。
搜索关键词: 一种 bazrs base sub
【主权项】:
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