[发明专利]整体尺寸减小的微机电传声器在审
| 申请号： | 202110302262.3 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN113428831A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | S·达格尔;L·约特 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 江海;李雪 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种整体尺寸减小的微机电传声器，包括：由第一基板制造的传声器单元，传声器单元包括能够在压差的作用下移动的可移动元件和用于测量所述可移动元件的位移的测量装置，由第二基板制造的盖，所述盖具有第一凹槽，用于将测量装置电连接到控制单元的第一装置，所述传声器单元和所述盖在所述传声器单元和所述盖之间界定出真空空间和第一腔，真空空间容纳测量装置，第一腔从第一凹槽延伸且部分地由可移动元件封闭，真空空间和第一腔以密封的方式彼此隔绝，所述传声器包括用于将可移动元件(4)的位移机械地传递至测量装置(10)的装置(8)以及密封隔绝元件(16)，传递装置(8)穿过密封隔绝元件(16)。 | ||
| 搜索关键词： | 整体 尺寸 减小 微机 传声器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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