[发明专利]一种液态金属靶极紫外光源系统在审
| 申请号： | 202110304050.9 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN112835274A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 芶富均;陈波;陈建军 | 申请（专利权）人： | 芶富均 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都春夏知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51317 | 代理人： | 夏琴 |
| 地址： | 550025 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液态金属靶极紫外光源系统，液态金属靶从顶部插入真空腔室内部，液态金属靶内部盛装有液态金属，真空腔室底部与等离子体源连接，等离子体源具有进气口、放电区和喷口，喷口与真空腔室连通，喷口与液态金属靶位置相对应，工作时液态金属靶底部产生等离子蒸汽云团，等离子体源通过等离子体电源进行供电，真空腔室外侧具有输入口和引出口，输入口处设置有激光器，激光器产生的激光束通过输入口进入真空腔室并轰击等离子蒸汽云团，引出口供极紫引光光路通过，真空腔室外侧连通有真空泵，等离子体源和真空腔室下部区域外侧设置有磁场线圈，磁场线圈通过线圈电源供电，解决现有技术中需要产生稳定高效的13.5nm光源的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液态 金属 紫外 光源 系统 | ||
【主权项】：
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