[发明专利]消除大容量光栅阵列“鬼影”的方法及系统在审
申请号: | 202110306316.3 | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN113064233A | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 李凯;徐一旻;宋珂;王月明;马俊杰 | 申请(专利权)人: | 武汉烽理光电技术有限公司;武汉理工大学 |
主分类号: | G02B6/02 | 分类号: | G02B6/02 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 许美红 |
地址: | 430079 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种消除大容量光栅阵列“鬼影”的光栅刻写方法,在刻写光栅阵列的过程中,改变任意两个相邻光栅之间的距离,使得相邻间隔之差不为零。本发明可以有效消除大容量光栅阵列经过多次反射后产生的“鬼影”现象。 | ||
搜索关键词: | 消除 容量 光栅 阵列 鬼影 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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