[发明专利]一种真空直拉炉生产机构及其拉直取晶方法

摘要

本发明公开一种真空直拉炉生产机构，生产机构包括第一底板，所述第一底板上设有第一支架，第一支架上设有单晶炉，单晶炉包括炉体，炉体下方设有坩埚升降转动组件，炉体上设有旋阀，旋阀上设有副室，炉体上端设有导向组件，副室上端设有转动盘，第一底板一侧设有取晶组件，取晶组件包括夹紧组件和尾托组件。本发明生产机构结构稳定可靠，硅晶棒拉直简单快捷，导向组件能够有效避免单晶炉在进行拉升时由于拉绳转动时不稳定，出现偏移现象，提高了硅晶棒同心率，提高了产品质量，在进行取晶时，夹紧组件和尾托组件可以有效的调节位置，夹紧支撑效果好，降低了脱落几率，极大提高了稳定性。