[发明专利]一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚有效
申请号: | 202110311082.1 | 申请日: | 2021-03-24 |
公开(公告)号: | CN113201789B | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 嵇亚明 | 申请(专利权)人: | 新沂市中鑫光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06;C03B20/00 |
代理公司: | 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 | 代理人: | 马静静 |
地址: | 221411 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚,包括:石英坩埚本体,所述石英坩埚本体呈圆柱型结构设置且底部边缘处呈圆弧状倒角结构设置,所述石英坩埚本体内底部设置有导热部且导热部呈向上凸起的半弧状结构设置,所述导热部与石英坩埚本体之间形成内倒角且内倒角呈半弧形结构设置,所述石英坩埚本体的底部设置有环形槽和竖向槽。本发明在石英坩埚本体的底部设置有导热部且导热部呈半弧形结构设置,导热部与石英坩埚本体的底部形成内倒角,内倒角呈半弧形结构设置,在石英坩埚底部设置有环形槽且环形槽的内部设置有竖向槽,环形槽和竖向槽之间形成网状结构,方便聚热,配合导热部增加了石英坩埚本体的导热性。 | ||
搜索关键词: | 一种 能够 快速 导热 强度 电弧 石英 坩埚 | ||
【主权项】:
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