[发明专利]采样开关、应用其的信号采样放大电路及控制方法有效
| 申请号： | 202110311475.2 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113078220B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 郭振华;冯鹏;顾超;尹韬;于双铭;窦润江;刘力源;刘剑;吴南健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/36;H03F1/56 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种采样开关、应用其的信号采样放大电路及控制方法，采样开关包括：衬底；栅极，形成于衬底的上表面；源极，形成于衬底内，位于栅极的一侧；漏极，形成于衬底内，位于栅极相对于源极的另一侧；沟道区域，形成于正对栅极的衬底内，位于源极和漏极之间；梯度掺杂注入层，形成于源极上，由源极的远离栅极的边界延伸至沟道区域上；阈值调整注入层，形成于梯度掺杂注入层的上表面，从源极远离栅极的边界延伸至漏极远离栅极的边界。通过对采样开关进行两次离子注入分别形成梯度掺杂注入层和阈值调整注入层，使采样开关形成梯度掺杂的沟道区域，有效抑制了沟道电荷向源极侧的泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 采样 开关 应用 信号 放大 电路 控制 方法 | ||
【主权项】：
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