[发明专利]一种带混合横向结构特征的薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 202110311852.2 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113193846B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 吴伟敏 | 申请（专利权）人： | 深圳市封神微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 贾玉霞 |
| 地址： | 518107 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种带混合横向结构特征的薄膜体声波谐振器，其包括：衬底；并排设置的复合下电极层和平坦化层，两者均位于衬底表面；且在衬底上与下电极层的下表面贴合的位置设置有横向空腔；复合下电极层包括第一金属和嵌入第一金属上表面的第二金属；压电层，位于并排设置的复合下电极层和平坦化层表面；压电层包括非压电层和内外环绕非压电层设置的多晶压电层；复合上电极层，位于压电层的表面；复合上电极层包括第三金属和嵌入第三金属下表面的第四金属；第四金属和非压电层正对设置，第二金属位于非压电层的内部。本发明在有效区边缘异质电极材料界面的引入改变边界声阻抗条件，可以抑制寄生横波传导造成的能量损失，从而提滤波器的品质因子。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 横向 结构 特征 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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