[发明专利]一种岛状纳米多孔金基底的制备方法在审
申请号: | 202110312059.4 | 申请日: | 2021-03-24 |
公开(公告)号: | CN113088906A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 张玲;周俊杰;曾和平 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;G01N21/65 |
代理公司: | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人: | 余昌昊 |
地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种岛状纳米多孔金基底的制备方法,包括以下步骤:S1、进行准备镀膜的材料,制备纯铬靶材、纯金靶材、金银合金靶材;S2、使用磁控溅射镀膜仪在单晶硅表面依次溅射铬膜、金膜、和金银合金薄膜,得到薄膜前驱体;S3、利用合金成分化学活性差异,采用试剂去除合金中的银素,形成多孔金;S4、取出样品,先用去离子水冲洗数次,以出去样品表面吸附的试剂,然后用氮气吹干,得到岛状纳米多孔金SERS基底;S5、对所述步骤S4中的基底进行拉曼信号的检测。根据本发明,工艺简单成本低,可重复性好,并且制备出的基底表面均匀、时效性优异、SERS性能良好。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 多孔 基底 制备 方法 | ||
【主权项】:
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