[发明专利]一种晶圆表面粗糙度的测量方法和测量系统在审
| 申请号： | 202110312439.8 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113048921A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 周毅;韩梅;詹万鹏 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 骆希聪 |
| 地址： | 430079 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆表面粗糙度的测量方法，包括以下步骤：根据试验晶圆表面选定点位的粗糙度的值和所述试验晶圆表面选定点位的光散色值，得到粗糙度和光散色值的关联曲线；通过光学测量机台获取待测晶圆表面颗粒的光散色值分布；根据所述关联曲线得到待测晶圆表面的晶圆格栅内粗糙度的平均值。本发明的晶圆表面粗糙度的测量方法，可以快速且完整的获取晶圆表面的粗糙度的值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 粗糙 测量方法 测量 系统 | ||
【主权项】：
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