[发明专利]研磨头系统、研磨装置及处理系统在审
| 申请号： | 202110313239.4 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113442054A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 渡边和英;小畠严贵 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/20;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可精密控制从固定环等固定部件施加于研磨垫的力的研磨头系统、研磨装置及处理系统。研磨头系统具备：研磨头(7)，其具有：对工件(W)施加按压力的致动器(47)、排列于致动器(47)外侧的固定部件(66)、及连结于固定部件(66)的多个压电元件(72)；及驱动电压施加装置(50)，其对多个压电元件(72)独立地施加电压。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 系统 装置 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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