[发明专利]一种可批量化金属球表面均匀镀膜的方法有效
| 申请号： | 202110314462.0 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113073306B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 庞立龙;王志光;申铁龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所;惠州先进能源与材料研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/02;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 王春霞 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可批量化金属球表面均匀镀膜的方法。所述方法包括如下步骤：金属球经表面清洁后置于镀膜球盘中，然后进行镀膜即可；在镀膜过程中，将金属球约束在镀膜球盘的流道内，并保持自由流动；镀膜球盘包括一盘体，盘体内设有若干同心的流道；流道的宽度为金属球直径的1.2～1.5倍。本发明采用的镀膜球盘的结构设计简单、精巧，辅以驱动程序控制，调试快捷，易于操作，可以实现球体高效批量镀膜；而且安装、拆卸方便，易于对镀膜样品盘清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 批量 金属 表面 均匀 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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