[发明专利]一种空间太阳电池复合互连材料及其制备方法有效
申请号: | 202110315687.8 | 申请日: | 2021-03-24 |
公开(公告)号: | CN113380915B | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 周灵平;高宝龙;朱家俊;符立才;杨武霖;李德意 | 申请(专利权)人: | 湖南大学 |
主分类号: | H01L31/05 | 分类号: | H01L31/05;H01L31/18;C23C14/16;C23C14/35 |
代理公司: | 长沙轩荣专利代理有限公司 43235 | 代理人: | 李喆 |
地址: | 410000 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供了一种空间太阳电池复合互连材料及其制备方法,所述复合互连材料由内到外依次包括钼基体,钼银合金过渡层,以及银薄膜。本发明通过磁控溅射技术在钼箔表面先沉积钼银合金过渡层,再沉积银薄膜,在不引入非膜基第三种金属元素的情况下,实现钼基体和银薄膜之间的浸润和牢固粘结,以及热膨胀系数的平稳过渡,显著增强膜基结合强度,降低了空间太阳电池互连材料的制备成本,避免了由于引入其它元素而引起的材料的焊接界面组织结构和性能的不可控问题,以及使用时而引起的航天器信号传输干扰问题。本发明的制备方法流程简单,可在不破坏真空条件下连续进行,不仅节约了成本,提高了效率,还有利于增强膜基结合强度。 | ||
搜索关键词: | 一种 空间 太阳电池 复合 互连 材料 及其 制备 方法 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的