[发明专利]感光性树脂组合物在审
| 申请号： | 202110317729.1 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113448167A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 霞健一 | 申请（专利权）人： | 味之素株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;H05K1/03 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蔡晓菡;梅黎 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题在于，提供即使延长显影时间对显影液的稳定性也优异的感光性树脂组合物等。本发明的解决手段是感光性树脂组合物，其含有(A)在分子内具有酚性羟基的碱可溶性树脂、(B)在分子中含有至少2个以上烷氧基甲基的化合物和(C)光致产酸剂，(A)成分含有下式(A‑1)、式(A‑2)和式(A‑3)所示的在分子内具有酚性羟基的碱可溶性树脂。[化1] |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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