[发明专利]激光装置和激光装置处理方法在审
| 申请号： | 202110318399.8 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114083116A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·乌若诺夫;三宫暁史;丁一荣;韩圭完;柳廷和 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/00 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 朴英淑 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供激光装置和激光装置处理方法。实施例涉及的激光装置包括：激光束输出部；校正部，校正从所述激光束输出部射出的激光束；激光扫描器，对由所述校正部校正的所述激光束进行扫描；反射体，将由所述激光扫描器扫描的所述激光束反射到处理基板；以及控制部，控制所述校正部，所述控制部根据所述激光扫描器的扫描条件来控制所述校正部。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 装置 处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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