[发明专利]一种非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法在审
| 申请号： | 202110318909.1 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113073300A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 吴红艳;赵科;张成远;于林汕;冯星斐;任军昭 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210044 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法，包括以下步骤：(1)非金属基体清洗后放入氧等离子刻蚀机中进行刻蚀；(2)将刻蚀完成的非金属基体置于磁控溅射装置样品台，利用硫化锌靶材在非金属基体上沉积硫化锌薄膜。该方法将氧等离子刻蚀和磁控溅射技术相结合，先对基体进行活化，然后沉积薄膜，使得制备出的薄膜与基体结合力更强，制备出的薄膜质量好，纯度高，性能稳定，且制备时间短，便于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非金属材料 表面 高纯 硫化锌 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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