[发明专利]一种用于纳米压印设备的UV灯监测装置及其监测方法在审
| 申请号： | 202110319177.8 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN112985595A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种用于纳米压印设备的UV灯监测装置，包括：具有容纳腔的壳体，UV灯位于壳体内，在壳体内连接有导轨，在UV灯下方，与导轨滑动连接有滑杆，滑杆通过驱动装置驱动其沿导轨移动，在滑杆上连接有三个UV灯能量监测探头，还包括与UV灯能量监测探头以及驱动装置电性连接的控制系统。一种UV灯监测方法，包括以下步骤：S1、根据UV灯的尺寸在控制系统中设置滑杆移动的行程；S2、控制系统控制驱动装置驱动滑杆移动，在三个位置监测点A、B、C监测能量数据并反馈至控制系统；S3、控制系统计算并输出9点能量数据的各点偏差。本发明可对UV灯的能量及均匀性进行实时监测，无需人工干预，自动完成监测，节约时间及人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 压印 设备 uv 监测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛天仁微纳科技有限责任公司，未经青岛天仁微纳科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110319177.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
