[发明专利]准分子灯、光照射装置在审
| 申请号： | 202110320341.7 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113451107A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 堀部大辉;藤田尚树 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J61/35 | 分类号： | H01J61/35;H01L21/67;G02F1/13 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 高迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种能够更正确地检测从光照射面射出的输出状态的准分子灯、光照射装置。上述准分子灯具备：长条状的发光管，对于紫外线具有透射性；一对电极，在上述发光管的径向上相离而设置；以及反射膜，形成在上述发光管的内壁面；上述反射膜具备：第一反射区域，与朝向光照射对象区域射出光的光射出面对置；以及第二反射区域，与设置在不同于上述光射出面的位置处的采光部对置。 | ||
| 搜索关键词： | 分子 照射 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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