[发明专利]一种层间稳定粘附的分布式布拉格反射镜及其制备方法在审
| 申请号： | 202110321122.0 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113126190A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 范思大;丁光辉;邹志文;丁晓林;邹容园;崔虎山;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;C23C16/24;C23C16/505;C23C16/52 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹翠珍 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种层间稳定粘附的分布式布拉格反射镜及其制备方法，所述分布式布拉格反射镜由含硅材料与α‑Si交替沉积形成叠层结构，含硅材料膜层与α‑Si膜层间设置3~15nm含硅材料与α‑Si的杂化膜层。该分布式布拉格反射镜通过等离子体增强化学气相沉积方法制备，依次沉积α‑Si膜层、含硅材料膜层，并在含硅材料膜层上沉积α‑Si膜层前期1~4s通入10~100%含硅材料反应气体，形成含硅材料与α‑Si的杂化膜层。所述杂化膜层在不影响膜层折射率的前提下，提高周期性叠加的α‑Si膜层与含硅材料膜层间粘附性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 粘附 分布式 布拉格 反射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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