[发明专利]一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质有效
| 申请号： | 202110322413.1 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113035267B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 彭聪;李康 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56;G11C29/50 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高天华;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质，所述半导体测试装置包括：站点控制模块和至少一个测试模块；其中，所述站点控制模块用于通过数据总线向所述测试模块发送控制指令；所述测试模块用于根据所述控制指令对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块。本发明提供的半导体测试装置中的站点控制模块和测试模块之间通过数据总线和串行接口线连接，数据总线用于控制指令的传输，串行接口线用于测试数据的传输，从而将控制测试流程和测试数据回传流程分离，使得测试控制和测试数据传输可以异步执行，缩短了测试的时间，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测试 装置 数据处理 方法 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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