[发明专利]一种低频声波传感器及硅微悬臂梁的制作方法有效
| 申请号： | 202110326112.6 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113074803B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 鲁平;唐艳秋;付陆君;朱旭;司马朝坦;刘德明 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 王颖翀 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低频声波传感器及硅微悬臂梁的制作方法，属于硅微机械加工和光学传感测量技术领域，所述低频声波传感器，包括：硅微悬臂梁，为利用SOI晶圆制备的高长厚比几何结构，用于接收声波信号；输入光纤，与所述硅微悬臂梁构成FP腔体，所述硅微悬臂梁到所述输入光纤上端面的距离为FP腔长；封装结构，与所述硅微悬臂梁和所述输入光纤连接，用于固定所述硅微悬臂梁和所述输入光纤。本发明提供的硅微悬臂梁制备方法工艺简单，成本低且成品率高；本发明提供的低频声波传感器结构紧凑，制备简单且一致性好，灵敏度高，在250Hz以下的低频测试频段的响应特性与理论高度吻合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低频 声波 传感器 悬臂梁 制作方法 | ||
【主权项】：
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