[发明专利]一种干法刻蚀机及其使用方法有效
| 申请号： | 202110328670.6 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113053719B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 邵帅 | 申请（专利权）人： | 江苏粤通泰科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;B08B5/04 |
| 代理公司： | 广州天河万研知识产权代理事务所(普通合伙) 44418 | 代理人： | 陈轩;刘茂龙 |
| 地址： | 223900 江苏省宿迁市泗*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及干法刻蚀技术领域，具体为一种干法刻蚀机及其使用方法。包括：密封通道，所述密封通道顶部的右侧贯穿设置有连续供料装置，所述密封通道的左侧设置有表面清洗设备，所述密封通道的传送带顶部等距离固定连接有传送装置，所述传送装置的顶部等距离固定连接有放置机构，所述传送装置内壁的前后两侧均等距离固定连接有传送轴，所述传送轴与所述传送装置的底部搭接，所述密封通道顶部开设有方形口。制程气体装置产生的气体通过输送管被输送至电浆隔离板多个内腔内，两个电浆隔离板相对面出气，使得两个电浆隔离板之间的气体形成电浆团，这样能够增加失电子的数量，进而增加了刻蚀的质量和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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