[发明专利]气体检测装置在审
申请号: | 202110333530.8 | 申请日: | 2021-03-29 |
公开(公告)号: | CN113466164A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 荒谷克彦 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504 |
代理公司: | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人: | 杨楷;毛立群 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供能以简单构成检测第1气体浓度的气体检测装置。该装置(1)具备:光源(2),照射红外线(IF);第1腔室(5),配置于红外线(IF)的光路(LP)上,供红外线(IF)通过并供包含吸收第1波段的红外线(IF)的第1气体(GS1)的样气(GS0)通过;第2腔室(7),配置于光路(LP)上,供红外线(IF)通过并填充有吸收与第1波段部分重叠的第2波段的红外线(IF)的第2气体(GS2);受光量检测部(9),接收依次通过第1腔室(5)及第2腔室(7)的红外线(IF)并检测其受光量;压力检测部(10),检测第2腔室(7)内的压力;运算部,基于受光量运算样气(GS0)中的第1气体(GS1)浓度,运算部基于压力校正第1气体(GS1)浓度。 | ||
搜索关键词: | 气体 检测 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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