[发明专利]对准标记数获取方法和装置有效
| 申请号： | 202110339784.0 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113325668B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 汪恒 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张娜;臧建明 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请提供一种对准标记数获取方法和装置，该方法包括：获取曝光机在进行第一晶圆曝光时的第一时间，以及获取曝光机在进行第二晶圆对准时的第二时间；当晶圆位于曝光平台时定义晶圆为第一晶圆，第一晶圆具有曝光参数，当晶圆位于对准平台时定义晶圆为第二晶圆，第二晶圆具有对准标记数；当第一时间小于第二时间时，获取第二时间和第一时间之间的第一时间差；当第一时间差大于预设值时，根据第一晶圆的曝光参数和对应关系确定第二晶圆的目标对准标记数，其中对应关系是曝光参数和对准标记数之间的关系，对应关系用于使得第一时间差小于或等于预设值；输出目标对准标记数。本申请可以提高曝光机的光刻曝光效率，提高半导体制品的制作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 获取 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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