[发明专利]使用光敏复合物的各向异性蚀刻在审
| 申请号： | 202110340238.9 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113473732A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 约兰塔·克洛采克 | 申请（专利权）人： | 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;H05K13/00 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 王晖;曹桓 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种在制造部件承载件(100)期间对电传导层结构(102)进行蚀刻的方法，其中，该方法包括：使电传导层结构(102)经受包括蚀刻剂(106)和光敏复合物(108)的蚀刻组合物，从而在电传导层结构(102)中形成凹部(110)；同时至少在部分时间内对凹部(110)进行辐照和/或加热。另外，提供了一种用于在制造部件承载件(100)期间对电传导层结构(102)进行蚀刻的设备、一种经蚀刻的电传导层结构(103)以及一种部件承载件(100)。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 光敏 复合物 各向异性 蚀刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
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