[发明专利]CMOS图像传感器、干涉型滤光片及其制备方法有效
申请号: | 202110343446.4 | 申请日: | 2021-03-30 |
公开(公告)号: | CN113093322B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 袁恺;陈世杰 | 申请(专利权)人: | 联合微电子中心有限责任公司 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;G03F7/00;H04N25/76 |
代理公司: | 北京北汇律师事务所 11711 | 代理人: | 马亚坤 |
地址: | 401332 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开了一种CMOS图像传感器、干涉型滤光片及其制备方法,其中,该干涉型滤光包括:第一材料层,波长调节层,第二材料层;干涉型滤光片底层设置有第一材料层;该第一材料层上方设置有波长调节层,该波长调节层用于抑制由于光的入射角不同产生的波长蓝移;该波长调节层上方设置有第二材料层。解决了现有技术中在CMOS图像传感器的边缘部分,透过波长发生明显的蓝移的问题,进而提高了多波段成像质量。 | ||
搜索关键词: | cmos 图像传感器 干涉 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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