[发明专利]一种高介电高机械强度玻璃陶瓷烧结基板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110344129.4 申请日: 2021-03-31
公开(公告)号: CN113072379A 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 方亮;罗玉国;韩玉成;杨俊;胡磊;方开美 申请(专利权)人: 中国振华集团云科电子有限公司
主分类号: C04B35/488 分类号: C04B35/488;C04B35/49;C04B35/622;C04B35/626;C03C14/00;C03C10/06;C03C10/02;H05K1/03
代理公司: 贵阳中工知识产权代理事务所 52106 代理人: 杨成刚
地址: 550018 贵州省贵*** 国省代码: 贵州;52
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摘要: 一种高介电高机械强度玻璃陶瓷烧结基板及其制备方法,组成部分包括:Al、Si、Mg、Zn及B氧化物,Zr、Ca氧化物,Sr、Ti氧化物。在800~1000℃下烧结,兼容金银铜导体布线;采用玻璃与氧化锆、钙化合物、SrTiO3进行组合,析出由ZrO2相、钙钛矿相以及Sr、Al构成的复合氧化物结晶相,提高介电常数;在基板制作的同时,析出的尖晶石结晶相提高材料的机械强度,析出的钙钛矿可以使TCC绝对值变小降低。实现了Au、Ag、Cu等布线可实现多层共烧,具有高介电常数、高机械强度、低TCC等优点,作为微波电路组装用基板,可广泛应用于微波电路的集成化、小型化组装载体。
搜索关键词: 一种 高介电高 机械 强度 玻璃 陶瓷 烧结 及其 制备 方法
【主权项】:
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