[发明专利]蒸镀掩膜的制造装置以及制造方法在审
| 申请号： | 202110344384.9 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113493894A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 山田哲行 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10;C25D1/20;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;李文屿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供品质稳定的蒸镀掩膜的制造装置及蒸镀掩膜的制造方法。并且提升作业者的作业效率。蒸镀掩膜的制造装置，包括：设置结构体的工作台，所述结构体设有蒸镀掩膜和与蒸镀掩膜相接的金属层；和从蒸镀掩膜将金属层剥离并进行卷绕的旋转辊。另外，蒸镀掩膜的制造方法包括：在设有蒸镀掩膜和与蒸镀掩膜相接的金属层的结构体中，一边用旋转辊卷绕金属层，一边使旋转辊沿着与结构体的一边大致平行的第1方向移动，从蒸镀掩膜将金属层剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜 制造 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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